第76章 芯片流片完成(第2页)
“这次只是流片测试,不是批量生产,所以使用的晶圆只有30片。现在正在进行的步骤是涂胶,也就是使用涂胶机,将光刻胶均匀的涂抹在晶圆的表面。下面要进行的步骤是第一次光刻机光刻,后面还有显影、刻蚀、离子注入等步骤。”
王院士不愧是老牌教授,基础知识扎实,口才出众,讲解的深入浅出,即使乔瑞达这个第一次接触芯片生产的新人,也听了个清楚明白。
就这样,乔瑞达跟在王院士的身后,将芯片的生产流程,从头到尾的跑了一遍。由于要用到多重曝光技术,涂胶、光刻、显影等步骤,要来回折腾好几次,其间还要更换掩膜版和部分掺杂用料,耗时十分之长。所以当30片六寸晶圆,跑完所有工序,走下生产线的时候,已经是傍晚时分了。
加工完成的硅晶圆,表面多了一些花花绿绿的刻蚀图案,看起来非常的漂亮。王院士亲自动手,将这30片硅晶圆,放到一个密闭容器中,封存了起来,而后说道:“今天时间不早了,就到这里吧,明天上午再去做切割和封装测试,到时候就可以知道这次的流片是否成功了。”
乔瑞达跟随在一群工作人员的后面,走出了无尘车间,而后排队等待乘坐电梯返回一楼。
“从负一层到一层,只有一层楼的高度,还要排队坐电梯,这也太奇怪了吧,就不能走楼梯吗?”
“你知道什么,无尘车间本身挑高就有五六米,在上面还有一个中间层,用于安装空调、通风除尘设备。也就是说负一层到地面,至少有十米以上的垂直高度。更重要的是出于保密的需要,普通楼梯只做应急逃生作用,平时是关闭的,所以大家只能排队乘坐电梯上下。”
在排队等待期间,乔瑞达打开金手指,调出图库界面,在那里有一千多张崭新的照片,是在今天拍摄的。照片的内容,正是隔壁无尘车间内的那套芯片生产设备。
“这些设备估计几年内使用不到,除非有一天瑞达科技涉足到芯片生产领域。还是建个文件夹,保存起来吧,有备无患。”