第127章 旭日光机(第3页)

 江汉文微笑着点头，“还

得感谢香江方面投入过来的资金，要不是成立了合资公司专门研发光刻机，设备搬迁的速度肯定不会这么快。”

 张红旗点点头，突然想到一个问题，“江主任，关于投影式光刻机的光源技术，你们现在有什么计划？”

 江汉文沉思片刻，脸上露出一丝严肃，“光源是整个系统的核心之一。我们目前正在研究几种方案，包括高压汞灯和准分子激光器。

 高压汞灯好在我们现在就有技术，直接就有成品可用。但是它的光强不足、波长较长，生产时需要更长时间曝光。

 准分子激光器波长更短，光强也能提上来，但是没有现成的技术，需要进行开发。”

 张红旗微微皱眉，“准分子激光器的技术要求很高，国内目前的水平能跟得上吗？”

 江汉文露出一丝苦笑，“这正是我们的难点之一。准分子激光器的制造工艺非常复杂，但它的波长短，非常适合高分辨率光刻。

 我们打算向香江公司求援，看能不能从香江的渠道，先从国外引进一部分核心部件，再结合我们的研究进行改进。”

 张红旗点了点头，表示理解。他又问道：“除了光源，其他方面的技术呢？”

 江汉文的神情变得更加专注，“光学系统的设计和制造是另一大挑战。初期阶段主要是完成理论研究和技术可行性分析，制作初步原型并进行测试，所以我们是打算自行制造镜头和光学元件。

 等到预生产样机建造大规模测试的时候，我们计划通过香江公司寻求与国外的光学设备制造商合作，比如carl zeiss和nikon，采购高质量的镜头和光学元件。

 同时，我们也在积极培养自己的技术团队，提高自主研发能力。”

 两人继续在实验室里走动，张红旗关注到一台尚未组装完毕的设备，其中有一个部件引起了他的好奇。

 “这是什么？”